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便攜式電阻測度儀是用來測量硅晶塊、晶片電阻率及擴散層、外延層、ITO導(dǎo)電箔膜、導(dǎo)電橡膠等材料方塊電阻的小型儀器。
本儀器按照半導(dǎo)體材料電阻率的際及家標(biāo)準(zhǔn)測試方法有關(guān)規(guī)定。
它主要由電器測量份(主機)及四探頭組成,需要時可加配測試架。
為減小體積,本儀器用同塊數(shù)字表測量電及阻率。樣品測試電由寬的恒源提供,隨時可行校準(zhǔn),以確保電阻率測量的準(zhǔn)確度。因此本儀器不僅可以用來分選材料也可以用來作產(chǎn)品檢測。對1~100Ω·cm標(biāo)準(zhǔn)樣片的測量誤差不過±5%,在此范圍內(nèi)達到家標(biāo)準(zhǔn)二機的水平。
2、測試儀結(jié)構(gòu)及原理
測試主機由主機板、前面板、后背板及機箱組成,數(shù)字表、測試電換檔開關(guān)、電阻率/方阻轉(zhuǎn)換開關(guān)、校準(zhǔn)/測量變換開關(guān)以及電調(diào)節(jié)電位器均裝在前面板上。后背板上只裝有電源插座、電源開關(guān)、保險管及四探針連接插zuo。機箱底板上字裝了主機板。前后面板與主機板之間的聯(lián)接均采用接插件,便于拆卸維修。